Hava təmizliyi səviyyəsi (N) | İşarələnmiş hissəcik ölçüsündən böyük və ya ona bərabər olan hissəciklərin maksimal konsentrasiyası həddi (hava hissəciklərinin sayı/m3) | |||||
0,1 um | 0,2 um | 0,3 um | 0.5um | 1.0um | 5.0um | |
ISO Sinfi 1 | 10 | 2 | ||||
ISO Sinfi 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Sinfi 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Sinfi 4 | 10.000 | 2,370 | 1020 | 352 | 83 | |
ISO Sinfi 5 | 100.000 | 23,700 | 10,200 | 3520 | 832 | 29 |
ISO Sinfi 6 | 1.000.000 | 237.000 | 102.000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO Sinfi 7 | 352.000 | 83,200 | 2,930 | |||
ISO Sinfi 8 | 3.520.000 | 832.000 | 29,300 | |||
ISO Sinfi 9 | 35.200.000 | 8.320.000 | 293.000 |
PCS/M≥0,5um | ISO 14644-1(1999) | US 209E(1992) | US 209D (1988) | EEC cGMP (1989) | FRANSA AFNOR (1981) | ALMANİYA VDI 2083 (1990) | YAPONİYA JAOA (1989) |
1 | - | - | - | - | - | - | - |
3.5 | 2 | - | - | - | - | 0 | 2 |
10.0 | - | M1 | - | - | - | - | - |
35.3 | 3 | M1.5 | 1 | - | - | 1 | 3 |
100 | - | M2 | - | - | - | - | - |
353 | 4 | M2.5 | 10 | - | - | 2 | 4 |
1000 | - | M3 | - | - | - | - | - |
3530 | 5 | M3.5 | 100 | A+B | 4000 | 3 | 5 |
10.000 | - | M4 | - | - | - | - | - |
35,300 | 6 | M4.5 | 1000 | 1000 | - | 4 | 6 |
100.000 | - | M5 | - | - | - | - | - |
353.000 | 7 | M5.5 | 10.000 | C | 400.000 | 5 | 7 |
1.000.000 | - | M6 | - | - | - | - | - |
3.530.000 | 8 | M6.5 | 100.000 | D | 4.000.000 | 6 | 8 |
10.000.000 | - | M7 | - | - | - | - | - |